因?yàn)槔渌畽C(jī)能夠控制真空鍍膜機(jī)的溫度,以保證鍍件的高質(zhì)量。如果不配冷水機(jī)就不能使真空鍍膜機(jī)達(dá)到高精度、高效率控制溫度的目的,因?yàn)樽匀凰屠鋮s水塔散熱都不可避免地受到自然氣溫的影響,而且此方式控制是極不穩(wěn)定的,應(yīng)用于真空鍍膜工藝的冷水機(jī),我們稱(chēng)之為鍍膜冷水機(jī)。
中頻設(shè)備必須配冷水機(jī)加冷卻水原因是它的頻率高電流大。電流在導(dǎo)體流動(dòng)時(shí)有一個(gè)集膚效應(yīng),電荷會(huì)聚集在電導(dǎo)有表面積,這樣使電導(dǎo)發(fā)熱所以采用中孔管做導(dǎo)體中間加水冷卻。鍍膜為什么也要用冷水機(jī)進(jìn)行冷卻?因?yàn)榇趴貫R射靶在發(fā)射時(shí)會(huì)產(chǎn)生高溫會(huì)使射槍變形,所以它有一個(gè)水套用來(lái)冷卻射槍。同時(shí)還有一個(gè)重要原因,磁控濺射可以被認(rèn)為是鍍膜技術(shù)中最突出的成就之一。它以濺射率高、基片溫升低、膜基結(jié)合力好。
從更深層次研究電子在非均勻電磁場(chǎng)中的運(yùn)動(dòng)規(guī)律,探討了磁控濺射的更一般原理以及磁場(chǎng)的橫向不均勻性及對(duì)稱(chēng)性是磁約束的本質(zhì)原因。
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風(fēng)冷式真空鍍膜用冷水機(jī)圖片
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